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FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 Vision 200DB・Vision 200TB

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FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 Vision 200DB・Vision 200TB

FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 Vision 200DB・Vision 200TB /エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

200mmウェーハから複数の小片サンプルまで、様々なアプリケーションに用いることのできる装置です。
トリプルビーム装置は3つのビームが試料の同一位置に照射されるため、試料断面をSEMで観察しながら極低加速ArイオンビームでFIB下降中に生じたダメージを除去したり、数nmレベルの均一なミリングを可能にした世界唯一のシリーズです。

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