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GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope ULTRA55

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GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope ULTRA55

GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope ULTRA55 /エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

ULTRA55はSUPRA55をもとに新たにエネルギー-角度分散反射電子検出器(EsB)を備えた電界放射型走査電子顕微鏡です。
2次電子による表面構造、ならびに反射電子による組成分布を高分解能観察することが出来ます。また、新開発のEsB検出器はフィルタリンググリットと組み合わせることで検出器に入る反射電子のエネルギーを選択することができ、反射電子像の像質を大幅に改善することが出来ます。

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