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膜厚測定ソフト

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膜厚測定ソフト

膜厚測定ソフト /オプトシリウス

膜厚測定システムは、オーシャンオプティクス社の分光器、光源、反射プローブ等に、協業メーカーの分光干渉膜厚測定ソフトウェアを組み合わせたオリジナルシステムです。
分光器からソフトウェアまで、組み合わせは自由なので、右図の構成例のように顕微鏡と組み合わせた微細スポットの膜厚測定や、製膜過程のリアルタイム測定など、お客様のニーズにあったセットアップをご提供可能です。

 
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