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多用途プラズマCVD装置MAPLE

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多用途プラズマCVD装置MAPLE

多用途プラズマCVD装置MAPLE /西華産業株式会社

三菱重工業製の多用途プラズマCVD装置MAPLEをご紹介します。本装置では低温(約250℃)で高品質(低水素、低ダメージ)な製膜が可能で、様々なアプリケーションに対応します。絶縁膜としてはMRAM等ダメージに弱い素子周りの絶縁膜形成や、高温プロセスでクラックを生じさせない等、本装置でしか実現出来ないプロセスがあります。また、ボラジン膜によるハードマスクやCuバリア膜等新たなプロセスも提案しております。

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