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エリプソポロシメーターEP

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エリプソポロシメーターEP

エリプソポロシメーターEP /西華産業株式会社

本エリプソポロシメーターは、マイクロエレクトロニクス研究の先端を走るIMECのライセンスを元に開発されました。Low-k等の多孔質薄膜に溶剤を吸着させ、相対圧力に対する屈折率や膜厚の変化をとる事によりポロシティ、細孔径分布、Young modulus等のデータを得る事が出来ます。その他、プラズマダメージ及びその回復等、プロセスインテグレーションに欠かせないデータを得る事が可能です。もちろん、普通の分光エリプソメーターとしても使用出来ますので広い範囲で皆様の研究開発のお役に立つ装置です。

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