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英国HIDEN社 モデルESPION ラングミュアプローブ

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英国HIDEN社 モデルESPION ラングミュアプローブ

英国HIDEN社 モデルESPION ラングミュアプローブ /アステック(株)

プラズマ中の電子密度や電子温度、及び電子エネルギー分布などを自動解析するプラズマ診断プローブです。アフターグローや、過渡的な分析にも、高速スキャンスピードにより対応できます。プローブには専用のモーター駆動式Z軸移動機構がオプションで用意されており、これを利用すると、任意の位置におけるプラズマパラメーターの空間分布を把握することが出来ます。 プラズマプロセスのメカニズムの解明、プラズマの均一性・安定性の保証に威力を発揮します。

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