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英国HIDEN社 モデルIMP イオンミリング終点検出器

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英国HIDEN社 モデルIMP イオンミリング終点検出器

英国HIDEN社 モデルIMP イオンミリング終点検出器 /アステック(株)

イオンビームエッチング(I.B.E)及び反応性イオンビームエッチング(R.I.B.E)の制御用に設計された製品であり、四重極質量分析の残留ガス分析以外に、表面分析において既に確立されている二次イオン質量分析法(SIMS)を元に、イオンビームエッチング(+Ion)プロセスに特化されたプローブです。 直接検出された二次イオンは、Windows MASsoftによるシグナル表示のカスタマイズやI/Oインターフェイスによるエンドポイントコントロールが出来ます。

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