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独SPECS社プラズマ源型ガス(アトム)ソース OSPrey-RF

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独SPECS社プラズマ源型ガス(アトム)ソース OSPrey-RF

独SPECS社プラズマ源型ガス(アトム)ソース OSPrey-RF /アステック(株)

プラズマ源型ガスソースとして、ECRプラズマ(2.45GHz)源型とRFプラズマ源(13.56MHz)型がある。特長としてユーザにより構成できる多彩な4つのモードで動作することである。
特 長
1. イオンモードはイオンビーム蒸着やイオン ビームアシスト蒸着などのアプリケーションに
2. アトムモードは酸化成長や窒化(GaN、AlN、 InN、SiN)などに
3. ダウンストリームモードは反応性スパッタリング やレーザーアブレーションなどに
4. ハイブリッドモードはIn-Situエッチングなど に適している。

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