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超高真空対応 Picomotor アクチュエータ“83XX-UHV”

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超高真空対応 Picomotor アクチュエータ“83XX-UHV”

超高真空対応 Picomotor アクチュエータ“83XX-UHV” /(株)日本レーザー

超高真空対応Picomotorアクチュエータは、人気の真空対応Picomotorアクチュエータを改良した、VUV/EUVアプリケーションはもちろん、UHV環境(10-9torr)まで対応可能なアクチュエータです。10-9torrまでの真空中におけるビームステアリングやモーションコントロールに最適です。標準のPicomotorアクチュエータと同様、移動範囲全体での分解能は30nmで、非常に優れた長時間安定性と、電源を切っても設定位置を保持する高い確度を備え持っています。測定ライフタイムは2mmの往復移動で15,000サイクルを超え、システムへの組込みに最適です。

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