応用物理 製品ガイド

マスクレス露光装置　DL-1000 ／(株)ナノシステムソリューションズ

DL-1000は、研究開発の効率を飛躍的に向上させることのできるマスクが不要なコンパクトな露光装置です。
DMDに表示された露光パターンの縮小投影技術で最小画素１μmを実現。独自のオートフォーカス技術で基板の材質を問わず、厚膜レジストへの対応も可能です。
マスクアライナーの代替装置として、マスクアライナー用マスクの製造装置として、電子ビーム描画装置の補完装置としてなど、様々な形でご利用頂けます。