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EM-Suite(イーエム・スイート)

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EM-Suite(イーエム・スイート)

EM-Suite(イーエム・スイート) /(株)インターソフト

EM-Suiteは、Windows/Linux上で、露光転写工程における先進半導体リソグラフィシミュレーション(液浸、Alternating Phase-Shifting Mask、Attenuated Phase-Shifting Mask等)を実現するソフトウェアです。マウスの使える3D設計画面により直感的な製図が可能。さらに光の波長、強度、材質設定等の詳細パラメータ設定、独自のシミュレーション環境構築が可能です。

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