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新型R&D用MBE装置GEN10

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新型R&D用MBE装置GEN10

新型R&D用MBE装置GEN10 /日本ビーコ(株)

Veecoはこの度、新しいR&D用のMBE装置GEN10を発表いたしました。この装置は3インチまでの基板を取り扱うことができ、成長室には最大10本までの各種MBE用セルが取り付け可能です。また、搬送はクラスタータイプの自動搬送となっており、従来の小型R&D用装置とは一線を画しております。また装置は、最大で3成長室まで接続可能になっており、酸化物―窒化物の組み合わせた材料、デバイスの研究開発においても優れた拡張性、柔軟性を発揮いたします。

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