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真空・低温対応 高精度位置決めステージ LT3310

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真空・低温対応 高精度位置決めステージ LT3310

真空・低温対応 高精度位置決めステージ LT3310 /(株)アド・サイエンス

LT3310シリーズは真空環境に対応した超小型精密位置決め装置です。電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置内でご利用頂けます。
サイズは33mm角と非常に小型で、狭スペースへの取付けが可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。
XY2軸タイプ / XYZ3軸タイプ / XYR3軸タイプ (UHV,低温モデル有り)
動作分解能:0.25nm(XYZ軸), 10-7rad(R軸)
動作範囲:10mm(XY軸), 7mm(Z軸), 360°(R軸)

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