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高速フォトルミネッセンスマッピングシステムRPM2000

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高速フォトルミネッセンスマッピングシステムRPM2000

高速フォトルミネッセンスマッピングシステムRPM2000 /ナノメトリクス・ジャパン?

この装置は、フォトルミネッセンスを超高速でマッピングする事ができる唯一のシステムです。従来の装置では成し得なかった、高密度マッピングをハイスル?プットで行えるシステムです。基板受け入れ、epi成長後の検査および評価または、R&Dのツールとして数多く採用されており、事実上業界スタンダードの地位を確立したと言っても過言ではありません。

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