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高精度X線回折マッピングシステム Vektor

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高精度X線回折マッピングシステム Vektor

高精度X線回折マッピングシステム Vektor /ナノメトリクス・ジャパン?

本装置は高分解能・高速X線回折マッピングシステムで、PHILIPS社から受け継いだ技術を、ACCENT社で再開発・最適化され,NANOMETRICSへと受け継がれました。Si,???やSiGeなどの半導体プロセスの多くの要求に対応できるようにデザインされているシステムです。

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