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単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置 DCVD-51A

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単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置 DCVD-51A

単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置 DCVD-51A /アリオス(株)

本装置は、高純度のダイヤモンド合成実験を行うためのプラズマCVD装置です。 ダイヤモンドの単結晶成長(ホモエピタキシャル)が可能です。
アリオスの超高真空技術とマイクロ波応用技術を駆使し、今までにないコンパクトで省電力な装置にまとめました。各種のガス導入によりダイヤモンド半導体の実験も可能です。

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