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光学式膜厚屈折率測定器

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光学式膜厚屈折率測定器

光学式膜厚屈折率測定器 /ヤーマン(株)

薄膜の屈折率、膜厚、吸収係数を反射透過率の分光法とエリプソメーター、DPSD(SCI特許)の選択が可能なハイブリッドな膜厚計、複屈折率、CD測定等まで拡張可能。基材はSiに限らず、ガラス、PETフィルム等にも対応。多層膜、微小スポット評価も可能です。

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