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ピエゾフレクシャーステージ・スキャニングシステム

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ピエゾフレクシャーステージ・スキャニングシステム

ピエゾフレクシャーステージ・スキャニングシステム /ピーアイ・ジャパン(株)

・長寿命化セラミック(PICMA)採用(湿度対策を施したピエゾセラミック) ・最大1500μmストローク ・1ナノメートル以下の分解能を誇る静電容量センサーを内蔵 ・大口径を有する一体構造型XY,XYZステージ ・摩擦及び粘着はありません ・超高真空、ベーキング可・微鏡対物レンズ用ポジショナー ・顕微鏡レボルバー用ポジショナー ・最大6軸一体型(1台のステージで1軸から多軸まで対応) ・バックラッシュもありません ・疲労、磨耗もありません ・非磁性対応

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