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触針式段差表面形状測定装置

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触針式段差表面形状測定装置

触針式段差表面形状測定装置 /?テックサイエンス

触針式段差・表面形状測定装置XP-Plusシリーズ。表面粗さ、段差、膜厚、うねり等の解析ができる。 分解能を0.4Åにアップ、最大測定高さを800?mに、最大測定点を12万点に増強した。 ステージが手動式のXP-100型とモーター駆動のXP-200型、大型ステージのXP-300型の3機種共に業界一の多機能を標準装備している。柔軟でもろいサンプルも触針圧力制御により測定可能。

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