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膜厚モニター FE-300

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膜厚モニター FE-300

膜厚モニター FE-300 /大塚電子?

小型・低価格! 簡単操作で、"非接触"膜厚測定!
? 薄膜から厚膜まで(10nm?40μm)の幅広い膜厚に対応します。
■反射率スペクトルを用いた膜厚解析
■コンパクト・低価格・高精度測定を実現
■安価でお求めやすい固定ステージ仕様と、マッピング測定が可能な自動ステージ仕様の2種類をラインナップ
■非線形最小二乗法、最適化法、PV法、FFT解析法などによって幅広い種類の膜厚測定が可能

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