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汎用研究試作用プラズマCVD装置『クラスターラボ』

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汎用研究試作用プラズマCVD装置『クラスターラボ』

汎用研究試作用プラズマCVD装置『クラスターラボ』 /サムコ(株)

『クラスターラボ』は、ロードロック室を中心に反応室を3室まで設置することが可能なモジュール方式の研究試作用プラズマCVD装置です。同一反応室で異種プロセスを連続して行う場合、相互汚染が生じやすく、作業効率の低下につながります。本装置では、複数のプラズマ反応室をそれぞれ独立したプラズマ処理専用の反応室として使用することが可能であり、ロードロック室を経て真空状態のまま試料を搬送し、異なる成膜プロセスを連続して行うことが可能です。

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