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電子線描画装置

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電子線描画装置

電子線描画装置 /(株)エリオニクス

世界初、超高加速125kVでの電子ビームリソグラフィー!広領域、低歪の描画フィールドにより、均一かつ高精度な描画を実現しました。最小径φ1.7nmのビームが長時間安定して得られます。これにより市販レジストでも4nmの超微細パターンが描画可能です。

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