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電動RTポンプ

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電動RTポンプ

電動RTポンプ /(株)コガネイ

液晶パネルのスリット塗布にはコガネイのポンプが使われています。その技術を継承して新たに開発したポンプをご紹介します。 電動RTポンプは液が流れるチューブを外側から媒体液でやさしく押して吐出します。でも応答性はプランジャポンプと同様です。半導体のレジストポンプとしても使用可能な清浄性を有していますので、大切な液を汚さずきれいなまま吐出します。ウエット薄膜形成や容器充填などに最適です。

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