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薄膜熱物性測定装置【NanoTR】【PicoTR】

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薄膜熱物性測定装置【NanoTR】【PicoTR】

薄膜熱物性測定装置【NanoTR】【PicoTR】 /日本カンタム・デザイン(株)

厚さ10nm~数10μmの金属・セラミック・有機薄膜等の熱物性値を高精度に測定することのできる、世界初の装置です。基板上に形成された薄膜試料をパルスレーザーで瞬間的に加熱し、薄膜内部への熱拡散により表面温度の低下速度、あるいは裏面温度の上昇速度をリアルタイムで観測することで(パルス光加熱サーモリフレクタンス法)、薄膜の膜厚方向の熱拡散率、熱浸透率、熱伝導率、層間熱抵抗の絶対測定を可能にします。

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