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コンビナトリアルアークプラズマ蒸着装置

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コンビナトリアルアークプラズマ蒸着装置

コンビナトリアルアークプラズマ蒸着装置 /?フリーダム

コンビナトリアルアークプラズマ蒸着装置はターゲット材A,B,Cを順次蒸着することにより1回のプロセスで混合比の異なる組成傾斜膜を基板上に成膜します。MEMSプロセスによりマトリックスの壁グリッドを設け、成膜後サンプルを分離することで1000個程の組成比の違う薄膜ライブラリが作成されます。この薄膜ライブラリを分析・評価することにより最適な物性を有する新材料を超効率に探索することができます。

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