電子顕微鏡向けコンタミネーション予防・除去ツール ／(株)アド・サイエンス
試料室のサービスポートにGV10xのプラズマソースは設置され、試料室内をin-situプラズマアッシングすることで、試料室内に残留した炭化水素（ハイドロカーボン）を除去することが可能であり、電子線照射による有機系コンタミネーションを予防することができます。
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