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attocube社製FPS高精度レーザー干渉変位計

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attocube社製FPS高精度レーザー干渉変位計

attocube社製FPS高精度レーザー干渉変位計 /ロックゲート(株)

ナノメートルの分解能を持つ多目的レーザー干渉変位計です。非常にコンパクトなセンサーヘッドと、極低温、超高真空、強磁場環境への対応は、新たな精密計測の可能性を開きます。作動距離0-400mm、測定帯域は10MHzであり、また、特許技術によりアライメント許容度±0.4°を誇り、アライメント調整の手間を大幅に短縮することができます。これらの特徴を生かし高感度な変位・振動測定を非常に手軽に行えます。

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