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ANT130シリーズ

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ANT130シリーズ

ANT130シリーズ /エアロテック(株)

高精度ステージANT130シリーズは最大160 mmの長い移動距離を持ちながら、移動分解能1 nm、繰返し精度±25 nmの動作が可能です。
<特徴>
・350 mm/sの高速動作 ・ダイレクトドライブモーターによる低振動動作 ・真空対応可能(10^-6 torr)
<応用例>
・超短パルスレーザーを用いた微細加工 ・パルスレーザーの光学遅延 ・近接場走査型顕微鏡用位置決め ・X線回折用位置決め

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