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高真空対応マグネトロンスパッター源

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高真空対応マグネトロンスパッター源

高真空対応マグネトロンスパッター源 /(株)テックサイエンス

薄膜コーティングや半導体デバイス作製用に開発された、小型のマグネトロンスパッタソースです。 材質を選ばずに1インチから4インチのターゲットで薄膜コーティングのフィルム均一性を達成したスパッタソースです。操作しやすく低価格が特徴。磁性体としてNbFeB永久磁石を採用しています。

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