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インライン型ガスフィルター「マイクロトール」

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インライン型ガスフィルター「マイクロトール」

インライン型ガスフィルター「マイクロトール」 /アップ・テック・ジャパン(株)

MOCVD/MOVPE/プラズマCVD/PLD/スパッタ等のキャリアガス/原料ガス/雰囲気ガス中の不純物を除去します。希ガス,N2,H2,NH3,HCL,AS3,PH3を含むバルクガス、特殊ガス、腐食ガス中の不純物を<1ppbに除去します。0.5-1000slpmの豊富なサイズ設定で、5ナインのガスをご利用で約1年の寿命、再生も可能です。

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