[an error occurred while processing this directive]

ANT180シリーズ

[an error occurred while processing this directive]
[an error occurred while processing this directive]
ANT180シリーズ

ANT180シリーズ /エアロテック(株)

高精度ステージANT180シリーズは最大360 mmの長い移動距離を持ちながら、移動分解能1 nm、繰返し精度±100 nmの動作が可能です。
<特徴>
・500 mm/sの高速動作 ・ダイレクトドライブモーターによる低振動動作 ・真空対応可能(10^-6 torr)
<応用例> ・超短パルスレーザーを用いた微細加工 ・パルスレーザーの光学遅延 ・近接場走査型顕微鏡用位置決め ・X線回折用位置決め

>>詳しくはこちら
 
[an error occurred while processing this directive]

[an error occurred while processing this directive]