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ガスクラスターイオンビーム

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ガスクラスターイオンビーム

ガスクラスターイオンビーム /株式会社オーエスアイ・インダストリー

ガスクラスターイオンビーム(Gas Cluster Ion Beam)装置は数百?数千の原子集団からなるクラスターイオンを発生させます。クラスターイオンが対象物に衝突し、ラテラルスパッタ効果により被対象物表面を超平坦化加工、無損傷加工が可能です。通常のイオンビームでは得られない超低エネルギー照射効果(数eV/atom)とクラスターによる超高密度照射効果(表面改質、高品位薄膜形成)が可能。

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