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リニア/ロータリー ピエゾステージ

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リニア/ロータリー ピエゾステージ

リニア/ロータリー ピエゾステージ /(株)フィジックステクノロジー

SmarAct社のピエゾステージSLCシリーズは、クロスローラ・ベアリングガイドを採用したピエゾステージです。全ストロークをピエゾで移動しますので、長ストロークを高精度な位置決めが可能です。粗調用・微調用と2台のステージを組み合わせる必要がありませんので、小型化でき煩雑な制御も必要ありません。各種ストロークや真空用・非磁性用など多種をご用意しております。

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