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イオンソース

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イオンソース

イオンソース /(株)オーエスアイ・インダストリー

世界実績No.1の米国ビーコ社製イオンソース。
DC、RF、エンドホール、リニアタイプと様々な出力方式とビーム口径を取り揃えています。 イオンビームエッチング、イオンビームスパッタリング、イオンビームアシスト用イオンソースに使用されています。弊社にてイオンソース販売、据付、メンテンンス、パーツ販売を行っています。装置仕様相談も対応いたしますので、お気軽にお問い合わせ願います。

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