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6軸パラレル・キネマティックステージ

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6軸パラレル・キネマティックステージ

6軸パラレル・キネマティックステージ /(株)フィジックステクノロジー

スマートポッドSmartPod110.45は、コントローラで完全制御された6軸パラレル制御のキネマティック・ピエゾステージです。 コンパクトなデザインで、全軸ピエゾ駆動ですので、ピボットポイントを指定するだけの簡単制御で1nmの高分解能な位置決めが可能です。ファイバーアライメントやシンクロトン内でのビーム調整に最適です。

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