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マグネトロンスパッタ源

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マグネトロンスパッタ源

マグネトロンスパッタ源 /(株)グリーンテック

【米国レスカー社製】マグネトロンスパッタ源です。スパッタカソード、スパッタソースとも呼ばれています。スパッタレートが速く、成膜精度・ターゲット利用効率も高いため研究開発をはじめ少量生産用途に最適です。磁性材料のターゲットもスパッタ可能で、ボンディングが不要な構造によりターゲットの交換も容易です。

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