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大型デュアルターゲットスパッターコーター「Q300TD」

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大型デュアルターゲットスパッターコーター「Q300TD」

大型デュアルターゲットスパッターコーター「Q300TD」 /(株)アド・サイエンス

Q300TDはコンパクトながら70L/sのターボ分子ポンプを搭載したデュアルターゲットスパッターコーターです。 ユーザーが設定した条件の保存、ログの自動記録が可能で膜圧計(FTM)も取付できます。 酸化しやすい金属Al, Cr等が高真空でスパッター可能。 大型φ300mm 高さ214mm のロングチャンバーのオプションもあり。

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