応用物理 製品ガイド

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真空機器・部品

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小型真空部品

小型真空部品 /㈱サイエンスラボラトリーズ

Kimball社製 球形真空チャンバー、フランジ等、各種超高真空対応製品を取り扱っております。

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独CreaTec Fischer社真空蒸着源(K-CELL)NATC(極低温有機セル)

独CreaTec Fischer社真空蒸着源(K-CELL)NATC(極低温有機セル) /アステック(株)

超高真空下における各種の純分子、原子の蒸着に適応する広範囲な温度、形状のモデルが用意されている。 特 長 NATC極低温有機セルは特長として、有機材料にとって不可欠な温度安定性(±0.01K)が、極めて正確なビームフラックス制御を可能にする。 また特に室温に近いところで温度制御をしなくてはならない為、アクティブクーリングエレメントなしにシステムを制御することは難しい、そこで、NATCは加熱と冷却を特別な液体を使用して、外部サーモスタットによって制御することにより実現する。客先ご要求仕様のセルも製作する。 仕 様 温度範囲: –30~300℃ 温度安定性: 0.01k ヒーティングシステム: 特殊流動体循環 取付けフランジ: CF40/CF63 最高径:  38mm セル長さ: 指定 ベークアウト温度:250℃ 熱電対: WRe5%-26%/Type K

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独SPECS社プラズマ源型ガス(アトム)ソース OSPrey-RF

独SPECS社プラズマ源型ガス(アトム)ソース OSPrey-RF /アステック(株)

プラズマ源型ガスソースとして、ECRプラズマ(2.45GHz)源型とRFプラズマ源(13.56MHz)型がある。特長としてユーザにより構成できる多彩な4つのモードで動作することである。 特 長 1. イオンモードはイオンビーム蒸着やイオン ビームアシスト蒸着などのアプリケーションに、 2. アトムモードは酸化成長や窒化(GaN、AlN、 InN、SiN)などに、 3. ダウンストリームモードは反応性スパッタリング やレーザーアブレーションなどに、 4. ハイブリッドモードはIn-Situエッチングなど に適している。 またフィラメントレスデザインの採用により、プラズマを作りだすためのホットフィラメントが存在しないので、酸素、窒素、水素、塩素のような反応性のあるガスを含む多くのガスで使用できる。 詳細な仕様・価格等お気軽にお問い合わせください。

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両側FC真空コネクター

両側FC真空コネクター /株式会社雄島試作研究所

本品は,真空用フィードスルーとして,従来の片側FC,片側特殊コネクターを変形して,両端FCコネクターとしたものです。損失は,シングルモードでは従来品より大きくなりますが,マルチモードではほぼ同等の性能になっております。ファイバーサイズ,フランジ等は任意に選ぶことができます。

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