真空機器・部品

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国際会議・分科会・研究会のシンポジウム運営サポート

国際会議・分科会・研究会のシンポジウム運営サポート /日刊工業コミュニケーションズ(日刊工業新聞社グループ)

日刊工業コミュニケーションズ(日刊工業新聞社グループ)では、分科会・研究会等のシンポジウム、国際会議等の運営業務をサポートいたします。展示会出展者の募集や、ポスターセッション、看板設営まで幅広く対応いたします。詳しくはお問い合わせください。

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超高真空窓

超高真空窓 /(株)グリーンテック

超高真空(10-8Pa台)まで使用可能な真空用窓です。CaF2・BaF2・ZnSe等いろいろな窓材とフランジの組み合わせが可能です。窓材本来の偏向及び散乱のない透過が得られます。有効視野Φ200mm以上の大口径窓の製作可能です。非磁性で、強磁場及び高放射線環境下での使用が可能です。

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真空フランジ・配管部品

真空フランジ・配管部品 /(株)グリーンテック

真空フランジ及び配管部品です。高品質で即納又は短納期で納入可能です。超高真空対応のコンフラットフランジ・Oリングを使用するJISフランジ・簡単に固定できるクイックカップリングフランジまで品揃えが豊富です。材質をSUS316Lへの変更や規格外の特注品の製作も可能です。

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マグネトロンスパッタ源

マグネトロンスパッタ源 /(株)グリーンテック

【米国レスカー社製】マグネトロンスパッタ源です。スパッタカソード、スパッタソースとも呼ばれています。スパッタレートが速く、成膜精度・ターゲット利用効率も高いため研究開発をはじめ少量生産用途に最適です。磁性材料のターゲットもスパッタ可能で、ボンディングが不要な構造によりターゲットの交換も容易です。

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電流導入端子

電流導入端子 /(株)グリーンテック

【米国セラムテック社製】超高真空(10-8Pa台)まで使用可能な電流導入端子です。約1800種類の商品があり日本でもセラマシールの名称で数多く使用されています。全数リークテストを実施し納期は原則として即納です。ICF,JIS,ISO,特型フランジに取り付けできます。

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6軸パラレル・キネマティックステージ

6軸パラレル・キネマティックステージ /(株)フィジックステクノロジー

スマートポッドSmartPod110.45は、コントローラで完全制御された6軸パラレル制御のキネマティック・ピエゾステージです。 コンパクトなデザインで、全軸ピエゾ駆動ですので、ピボットポイントを指定するだけの簡単制御で1nmの高分解能な位置決めが可能です。ファイバーアライメントやシンクロトン内でのビーム調整に最適です。

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イオンソース

イオンソース /(株)オーエスアイ・インダストリー

世界実績No.1の米国ビーコ社製イオンソース。
DC、RF、エンドホール、リニアタイプと様々な出力方式とビーム口径を取り揃えています。 イオンビームエッチング、イオンビームスパッタリング、イオンビームアシスト用イオンソースに使用されています。弊社にてイオンソース販売、据付、メンテンンス、パーツ販売を行っています。装置仕様相談も対応いたしますので、お気軽にお問い合わせ願います。

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リニア/ロータリー ピエゾステージ

リニア/ロータリー ピエゾステージ /(株)フィジックステクノロジー

SmarAct社のピエゾステージSLCシリーズは、クロスローラ・ベアリングガイドを採用したピエゾステージです。全ストロークをピエゾで移動しますので、長ストロークを高精度な位置決めが可能です。粗調用・微調用と2台のステージを組み合わせる必要がありませんので、小型化でき煩雑な制御も必要ありません。各種ストロークや真空用・非磁性用など多種をご用意しております。

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再利用真空機器・中古真空装置 機器

再利用真空機器・中古真空装置 機器 /(株)グリーンテック

完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。

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高真空対応マグネトロンスパッター源

高真空対応マグネトロンスパッター源 /(株)テックサイエンス

薄膜コーティングや半導体デバイス作製用に開発された、小型のマグネトロンスパッタソースです。 材質を選ばずに1インチから4インチのターゲットで薄膜コーティングのフィルム均一性を達成したスパッタソースです。操作しやすく低価格が特徴。磁性体としてNbFeB永久磁石を採用しています。

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