真空機器・部品

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和文機関誌「応用物理」、最先端を特集します

和文機関誌「応用物理」、最先端を特集します /公益社団法人 応用物理学会

応用物理学会に所属する約23,000人の全会員に向けて毎月10日発行しています。広告募集中です!!

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電子顕微鏡向けコンタミネーション予防・除去ツール

電子顕微鏡向けコンタミネーション予防・除去ツール /(株)アド・サイエンス

試料室のサービスポートにGV10xのプラズマソースは設置され、試料室内をin-situプラズマアッシングすることで、試料室内に残留した炭化水素(ハイドロカーボン)を除去することが可能であり、電子線照射による有機系コンタミネーションを予防することができます。

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2kV スパッタイオン銃 IB-201

2kV スパッタイオン銃 IB-201 /(株)ユニソク

試料表面のクリーニングを目的としたアルゴンスパッタイオン銃! 超高真空中でアルゴンイオンを照射して、試料表面を清浄化するために使用します。STM、AFM試料表面およびプローブのクリーニングに活用できます。
特長:真空中にて金属など試料表面の数モノレイヤー程度のわずかな切削による清浄化が可能
用途:超高真空中で測定分析用試料の表面清浄化、プローブ先端の先鋭化および清浄化

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超高温真空・ガス雰囲気炉レッドデビル

超高温真空・ガス雰囲気炉レッドデビル /石川産業(株)

レッドデビルは、高温下における物質の研究をはじめ、製品素材や部品材料の開発等、様々な分野の研究のための電気炉として開発されました。最高2200℃(アルゴン雰囲気時)の超高温で、より高度な研究が可能です。システム構築に伴う様々な水冷設備等付帯設備の導入や設置の煩わしさ等、経費や時間の浪費から開放します。

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KTS型ドライ真空ポンプ

KTS型ドライ真空ポンプ /?宇野澤組鐵工所

ウノサワKTSシリーズ・ドライ真空ポンプは、「軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプ」です。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能なドライ真空ポンプです。

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SMPS-201

SMPS-201 /アリオス?

SMPS-201は、超小型のマイクロ波励起プラズマ源です。ガスライン、あるいは排気ラインの途中に取り付けて使うことを想定して開発しました。酸化処理用、窒化処理用、エッチング用等のラジカル源として、プラズマ装置のガスライン上流に取り付けてプリプロセスを行うなど、手軽にご使用頂けます。

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EMIS-221C

EMIS-221C /アリオス(株)

EMIS-221Cはセラミック放電管タイプで、チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源です。超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られます。イオンドーピング、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。

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スパッタイオン銃 IB-103型

スパッタイオン銃 IB-103型 /?ユニソク

スパッタイオン銃は超高真空中でイオンビームを試料表面に 照射させクリーニングを行います。
■制御電源の軽量化と耐久性の向上(当社従来品比)
■優れたコストパフォーマンス
■XYポジションおよびフォーカス調整機能の標準装備
■バリアブルリークバルブ(標準装備)による容易なガス導入

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XYZ 3軸 ナノマニピュレータ/プローバ UP-100U

XYZ 3軸 ナノマニピュレータ/プローバ UP-100U /(株)ユニソク

ナノメートルレベルでXYZ3軸動作が可能なマニピュレータです。市販のSEM/FIB/光学顕微鏡と組み合わせることによりマイクロ/ナノメータスケールでのマニピュレーション/プロービング等様々な用途に利用できます。
■正確で簡単な操作 ■幅広い動作環境 ■高いコストパフォーマンス ■幅広い用途

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真空・低温対応 高精度位置決めステージ LT3310

真空・低温対応 高精度位置決めステージ LT3310 /(株)アド・サイエンス

LT3310シリーズは真空環境に対応した超小型精密位置決め装置です。電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置内でご利用頂けます。
サイズは33mm角と非常に小型で、狭スペースへの取付けが可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。
XY2軸タイプ / XYZ3軸タイプ / XYR3軸タイプ (UHV,低温モデル有り)
動作分解能:0.25nm(XYZ軸), 10-7rad(R軸)
動作範囲:10mm(XY軸), 7mm(Z軸), 360°(R軸)

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