応用物理 製品ガイド

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半導体B(探索的材料・物性・デバイス)

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GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope / ULTRA55

GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope / ULTRA55

ULTRA55はSUPRA55をもとに新たにエネルギー-角度分散反射電子検出器(EsB)を備えた電界放射型走査電子顕微鏡です。 2次電子による表面構造、ならびに反射電子による組成分布を高分解能観察することが出来ます。また、新開発のEsB検出器はフィルタリンググリットと組み合わせることで検出器に入る反射電子のエネルギーを選択することができ、反射電子像の像質を大幅に改善することが出来ます。

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FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 / Vision 200DB・Vision 200TB

FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 / Vision 200DB・Vision 200TB

200mmウェーハから複数の小片サンプルまで、様々なアプリケーションに用いることのできる装置です。 トリプルビーム装置は3つのビームが試料の同一位置に照射されるため、試料断面をSEMで観察しながら極低加速ArイオンビームでFIB下降中に生じたダメージを除去したり、数nmレベルの均一なミリングを可能にした世界唯一のシリーズです。

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