計測・制御

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強誘電体テストシステム

強誘電体テストシステム /ヤーマン?

強誘電体薄膜およびバルクの電気特性、疲労特性評価用。IV方式のバーチャルグラウンド回路を使用し、高電圧、微小電流測定可能。低価格仕様から高速、高性能仕様まで用意。焦電、圧電用途にも使用可能です。

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ダブルビームレーザー変位計

ダブルビームレーザー変位計 /ヤーマン(株)

薄膜の圧電特性を100fmの分解能で光学的に測定可能、薄膜用として唯一圧電定数(d33)を保証でき、同時に電気特性も評価できる装置構成。研究開発用のマニュアルタイプから生産ライン用のフルオート機能の製品を準備可能です。

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ナノインデンター Nanotest

ナノインデンター Nanotest /(株)テックサイエンス

ナノインデンターNANOTESTは、常温から高温環境までの薄膜やツールの機械特性が高精度に評価できる。硬度、ヤング率、接着度、粘弾性などの薄膜の機械的特性を常温と高温で、しかも高分解能にて評価できる。燃料電池、太陽電池セルの高温環境を設定できる。液中の試験も可能。ジュール方式なので組み合わせが自由でかつ随時アップグレードが可能。温度ドリフトが業界一小さく高精度高分解能が特徴。

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ピエゾフレクシャーステージ・スキャニングシステム

ピエゾフレクシャーステージ・スキャニングシステム /ピーアイ・ジャパン(株)

・長寿命化セラミック(PICMA)採用(湿度対策を施したピエゾセラミック) ・最大1500μmストローク ・1ナノメートル以下の分解能を誇る静電容量センサーを内蔵 ・大口径を有する一体構造型XY,XYZステージ ・摩擦及び粘着はありません ・超高真空、ベーキング可・微鏡対物レンズ用ポジショナー ・顕微鏡レボルバー用ポジショナー ・最大6軸一体型(1台のステージで1軸から多軸まで対応) ・バックラッシュもありません ・疲労、磨耗もありません ・非磁性対応

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積層型ピエゾ

積層型ピエゾ /ピーアイ・ジャパン(株)

●長寿命化セラミック(PICMA)採用(湿度対策を施したピエゾセラミック) ●サブナノメートルの分解能 ●高剛性   ●摩擦及び粘着はありません ●疲労、磨耗もありません ●超高真空、ベーキング可 ●非磁性対応・高速応答性(サブミリ秒) ●高圧力   ●バックラッシュもありません ●ポジションフィードバックセンサーにより、ヒステリシス・クリーピングの問題を解消

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高速・高機能ディレイジェネレータ

高速・高機能ディレイジェネレータ /(株)サイエンスラボラトリーズ

Colby instruments社より他に類を見ない精密プログラマブルディレイジェネレータの供給が可能になりました。
PDLシリーズは業界トップの分解能と精密プログラム制御を融合した高性能ディレイジェネレータです。 特許取得済みのトロンボーン方式を採用することにより、今までには成し得なかった精密分解能を可能にしました。また、受動型なので機器固有のジッタや位相ノイズは発生しません。簡単セットアップで使用可能であり、操作性にも優れております。GPIB、Ethernet、RS-232をサポートしており、簡単コマンドで操作可能です。

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光学式膜厚屈折率測定器

光学式膜厚屈折率測定器 /ヤーマン(株)

薄膜の屈折率、膜厚、吸収係数を反射透過率の分光法とエリプソメーター、DPSD(SCI特許)の選択が可能なハイブリッドな膜厚計、複屈折率、CD測定等まで拡張可能。基材はSiに限らず、ガラス、PETフィルム等にも対応。多層膜、微小スポット評価も可能です。

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LossPro

LossPro /ノヴァトレーディング

LossPro 超高精度光反射・光損失測定システム
本高性能光部品を超高精度によって正確に特性評価することが可能です。 本システムは、無比の精度によって薄膜の反射率、損失および、高感度分光法として広く用いられているCavity Ringdown法を採用しています。反射率: 98% ? 99.9995% 損失率:2%? 0.0005%とサブppm-レベル精度で、光部品を測定できます。

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燃料電池試験装置&制御ソフト(SiFC-500)

燃料電池試験装置&制御ソフト(SiFC-500) /エスティー・ラボ?

燃料電池試験装置&制御ソフト(SiFC-500)は、固体高分子型燃料電池の電解質膜や触媒等を開発するための、試験ガス制御装置、発電用負荷装置、測定用機器などのハードと、任意の発電パターンが作製できるプログラム式制御ソフトから構成されます。本装置では、燃料として水素以外にメタノール、ジメチルエーテルなどの液体燃料も試験可能であり、発電セル内のアノードとカソードの圧力を均等に加圧するシステムをオプションとして準備しています。

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PID式酸素分圧コントローラー(SIOC-200シリーズ)

PID式酸素分圧コントローラー(SIOC-200シリーズ) /エスティー・ラボ?

PID式酸素分圧コントローラー(SiOC-200シリーズ)は、酸素イオン伝導体を用いた酸素ポンプに試験雰囲気ガス(不活性ガス、水素など)を流し、ガス中の酸素濃度を制御します。酸素濃度のコントロールは酸素ポンプと高感度酸素センサーを組み合わせたPIDフィードバック回路により制御され、試験雰囲気ガス中の酸素濃度は1?1E-30atm(タイプC循環式)の範囲で制御、保持されます。

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