薄膜・表面

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分光エリプソメーター

分光エリプソメーター /伯東(株)

独SENTECH Instrumentsは多様な製品群で幅広い市場要求に対応する製品ラインナップをご提供できます。SENreserchシリーズは、短波長領域(190nm)から長波長(3500nm)までの広波長領域スペクトルをカバーした研究開発用分光エリプソメータです。 各種オプションとして自動ゴニオメーター、クライオスタット、加熱ステージ、オートフォーカス等組合わせが可能です。

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国際会議・分科会・研究会のシンポジウム運営サポート

国際会議・分科会・研究会のシンポジウム運営サポート /日刊工業コミュニケーションズ(日刊工業新聞社グループ)

日刊工業コミュニケーションズ(日刊工業新聞社グループ)では、分科会・研究会等のシンポジウム、国際会議等の運営業務をサポートいたします。展示会出展者の募集や、ポスターセッション、看板設営まで幅広く対応いたします。詳しくはお問い合わせください。

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SEM/FIB用クライオシステム「PP3010T」

SEM/FIB用クライオシステム「PP3010T」 /(株)アド・サイエンス

PP3010TクライオSEM装置をSEMやFIB装置に取り付けると極低温で含水試料や電子ビーム等による試料損傷を抑制しながら観察することができます。 液体窒素により冷却されたガスでステージやアンチコンタミネータの温度を?190度以下まで冷却可能です。

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大型デュアルターゲットスパッターコーター「Q300TD」

大型デュアルターゲットスパッターコーター「Q300TD」 /(株)アド・サイエンス

Q300TDはコンパクトながら70L/sのターボ分子ポンプを搭載したデュアルターゲットスパッターコーターです。 ユーザーが設定した条件の保存、ログの自動記録が可能で膜圧計(FTM)も取付できます。 酸化しやすい金属Al, Cr等が高真空でスパッター可能。 大型φ300mm 高さ214mm のロングチャンバーのオプションもあり。

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米国モンタナ・インスツルメンツ社製クライオステーション

米国モンタナ・インスツルメンツ社製クライオステーション /日本カンタム・デザイン(株)

クライオステーションは今までにない超低振動無冷媒オプティカルクライオスタット(Closed Cycle Cryostat)です。除振台に直接ネジ止めして載せても、試料や除振台上の装置への振動が5nm以下と非常に小さく、ノートパソコン、ソフトウエア、温度コントローラー、ダイアフラムポンプ、クライオポンプ、GM冷凍機、空冷コンプレッサーが付いていて、自動で温度制御、試料室の真空引きが可能です。正方形の全ての側面に4つの窓と、上部に1つの窓の合計5つの窓が付いています。

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レーザーアブレーションシステム

レーザーアブレーションシステム /(株)奈良機械製作所

固体ターゲットにパルスレーザーを照射して数nmから数10nmのナノ粒子を生成させる技術です。減圧雰囲気中で基板への成膜、また流動化している粒子に対してのコーティングも可能です。また、任意の溶媒中でナノ粒子の分散したサスペンションを調整することも可能です。金属やセラミックス材料など無機物はもちろんのこと、医薬品、高分子などの有機化合物もレーザー波長や出力の制御により、処理可能です。

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マグネトロンスパッタ源

マグネトロンスパッタ源 /(株)グリーンテック

【米国レスカー社製】マグネトロンスパッタ源です。スパッタカソード、スパッタソースとも呼ばれています。スパッタレートが速く、成膜精度・ターゲット利用効率も高いため研究開発をはじめ少量生産用途に最適です。磁性材料のターゲットもスパッタ可能で、ボンディングが不要な構造によりターゲットの交換も容易です。

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イオンソース

イオンソース /(株)オーエスアイ・インダストリー

世界実績No.1の米国ビーコ社製イオンソース。
DC、RF、エンドホール、リニアタイプと様々な出力方式とビーム口径を取り揃えています。 イオンビームエッチング、イオンビームスパッタリング、イオンビームアシスト用イオンソースに使用されています。弊社にてイオンソース販売、据付、メンテンンス、パーツ販売を行っています。装置仕様相談も対応いたしますので、お気軽にお問い合わせ願います。

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ガスクラスターイオンビーム

ガスクラスターイオンビーム /株式会社オーエスアイ・インダストリー

ガスクラスターイオンビーム(Gas Cluster Ion Beam)装置は数百?数千の原子集団からなるクラスターイオンを発生させます。クラスターイオンが対象物に衝突し、ラテラルスパッタ効果により被対象物表面を超平坦化加工、無損傷加工が可能です。通常のイオンビームでは得られない超低エネルギー照射効果(数eV/atom)とクラスターによる超高密度照射効果(表面改質、高品位薄膜形成)が可能。

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インライン型ガスフィルター「マイクロトール」

インライン型ガスフィルター「マイクロトール」 /アップ・テック・ジャパン(株)

MOCVD/MOVPE/プラズマCVD/PLD/スパッタ等のキャリアガス/原料ガス/雰囲気ガス中の不純物を除去します。希ガス,N2,H2,NH3,HCL,AS3,PH3を含むバルクガス、特殊ガス、腐食ガス中の不純物を<1ppbに除去します。0.5-1000slpmの豊富なサイズ設定で、5ナインのガスをご利用で約1年の寿命、再生も可能です。

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