薄膜・表面

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高信頼ものづくり専攻<公開技術講座>

高信頼ものづくり専攻<公開技術講座> /金沢工業大学 東京・虎ノ門キャンパス

特定の分野・テーマに関して短期集中型で学んでいただくコースです。「半導体デバイス」、「複合材料」、「知的ロボット」の3つの領域で、定期的に複数のコースを開催いたします。専門的知識の詰め込みではなく、基礎から理解できるようなカリキュラムを設定しております。どなたでも参加できます。

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EMIS-221C

EMIS-221C /アリオス(株)

EMIS-221Cはセラミック放電管タイプで、チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源です。超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られます。イオンドーピング、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。

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スパッタイオン銃 IB-103型

スパッタイオン銃 IB-103型 /?ユニソク

スパッタイオン銃は超高真空中でイオンビームを試料表面に 照射させクリーニングを行います。
■制御電源の軽量化と耐久性の向上(当社従来品比)
■優れたコストパフォーマンス
■XYポジションおよびフォーカス調整機能の標準装備
■バリアブルリークバルブ(標準装備)による容易なガス導入

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積層型ピエゾ

積層型ピエゾ /ピーアイ・ジャパン(株)

●長寿命化セラミック(PICMA)採用(湿度対策を施したピエゾセラミック) ●サブナノメートルの分解能 ●高剛性   ●摩擦及び粘着はありません ●疲労、磨耗もありません ●超高真空、ベーキング可 ●非磁性対応・高速応答性(サブミリ秒) ●高圧力   ●バックラッシュもありません ●ポジションフィードバックセンサーにより、ヒステリシス・クリーピングの問題を解消

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XYZ 3軸 ナノマニピュレータ/プローバ UP-100U

XYZ 3軸 ナノマニピュレータ/プローバ UP-100U /(株)ユニソク

ナノメートルレベルでXYZ3軸動作が可能なマニピュレータです。市販のSEM/FIB/光学顕微鏡と組み合わせることによりマイクロ/ナノメータスケールでのマニピュレーション/プロービング等様々な用途に利用できます。
■正確で簡単な操作 ■幅広い動作環境 ■高いコストパフォーマンス ■幅広い用途

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走査型ケルビンプローブ

走査型ケルビンプローブ /(株)テックサイエンス

走査型ケルビンプローブでは試料表面の吸着状態や金属腐食状態を計測できる。 微小チップが表面上を走査して、有機EL材料や高分子ポリマー、太陽電池セル、燃料電池など、導電物や半導体の仕事関数を測定して3次元像を作成する。
<用途>
太陽電池セル・燃料電池材料・光触媒材料 有機薄膜・OELD膜の仕事関数
ITO薄膜表面の汚染・欠陥  FDPの検査・品質管理  表面の吸着状態,腐食の測定

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ナノインプリント用モールド

ナノインプリント用モールド /NTT-AT(株)

石英、Si、SiO2/Si、SiN/Si、CVD-SiC/Si、CVD-SiC/SiC焼結体、単結晶SiC、Ni電鋳、Ta

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可搬型複合?線分析装置XRDF

可搬型複合?線分析装置XRDF /理研計器?

世界初!!ツタンカーカーメン黄金マスクをエジプトの現場にて非接触・非破壊で表面成分分析測定を行った画期的な新製品「可搬型?線分光装置。これ1台で現場における回折及蛍光?線測定がスピーディーに可能となりました。

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大気中光電子分光装置AC-2・AC-3

大気中光電子分光装置AC-2・AC-3 /理研計器?

画期的な「二重円筒型オープンカウンター」(特許)の採用により大気中で電子の数を1つずつ測定します。・大気中で簡単に仕事関数、イオン化ポテンシャルが、わすか5分で測定できます。・粉体液体の測定も可能です。

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ウェハー厚さ計 Elli-WT

ウェハー厚さ計 Elli-WT /ミワオプト(株)

Si及び化合系の基盤の厚さを非接触で高速測定が可能。

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