分光エリプソメーターGES5E ／西華産業株式会社
分光エリプソメーターのパイオニアSOPRA社のスタンダード機です。マルチチャンネル検知器にて190-1700nmの波長範囲での高速測定が可能です。分光タイプでは190-2000nmの波長範囲で高光分解能測定が行えます。また、赤外(2-25μm)分光エリプソメーター、GXR、EP-A等幅広い測定拡張オプションを用意しています。様々な薄膜の計測に、是非ご検討下さい。
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Kimball社製 電子銃 ／㈱サイエンスラボラトリーズ
世界中で使用されているKimball Physics社製電子銃／イオン銃は低エネルギーから高エネルギーまで幅広いエネルギー帯域の製品が充実しており、様々な用途に使用が可能です。
また、ビーム径、動作距離なども調整可能で様々な装置に対応出来るように設計されております。
更にオプションにより偏向機能・ラスタ走査機能・パルス化機能・LabVIEWによるリモートコントロールなど使用者に応じた機能を追加可能です。
簡易型ＡＦＭシステム ／㈱サイエンスラボラトリーズ
ドイツAnfatec社より、低価格な簡易型AFMシステムの販売が開始されました。学生の教育用やAFM初心者には最適な製品です。
標準セットにはCCDカメラ、130種類のカンチレバー、15種類のサンプルなども含まれています。測定モードはコンタクトモード、ダイナミックモード、LFM（水平力顕微鏡）が搭載されています。オートアプローチ機能も標準装備です。
また、オプションにより上記以外の測定モードの追加も可能です。
マグネトロンスパッタソース ／株式会社ケーサイエンス
当社のマグネトロンスパッタソースは、マグネトロン放電を利用することで、スパッタ速度の高速化をしています。また、ＤＣ･ＲＦ電源が使用できます。ＤＣ電源では、高融点金属･磁性体などの原料がスパッタリングできます。１３.５６ＭＨｚのＲＦ電源を使用することにより高融点金属･磁性体のほか、半導体･石英・ガラス・アルミナなどの絶縁物がスパッタリングできます。
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膜厚測定ソフト ／オプトシリウス
膜厚測定システムは、オーシャンオプティクス社の分光器、光源、反射プローブ等に、協業メーカーの分光干渉膜厚測定ソフトウェアを組み合わせたオリジナルシステムです。
分光器からソフトウェアまで、組み合わせは自由なので、右図の構成例のように顕微鏡と組み合わせた微細スポットの膜厚測定や、製膜過程のリアルタイム測定など、お客様のニーズにあったセットアップをご提供可能です。