薄膜・表面

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強誘電体/High-k用ADL・MO-CVD材料

強誘電体/High-k用ADL・MO-CVD材料 /株式会社 高純度化学研究所

当社では、高誘電体材料であるHf,Ta,Zrの化合物を、原料より反応させ中間製品を合成し、さらにアミンやアルコールと反応を進めアルコキシド(PET他)やアミノ化合物(TEMA-Hf,Zr,Taimata他)を合成し、得られた粗製品を精製し検査後、最終製品としておりす。まさに、原料より最終製品迄をトータル管理し、安定生産と供給を行っている企業です。また、熱安定試験や各分析・評価を行い技術的な協力や、お客様からの大至急のご要望に迅速に対応させていただいております。

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拡散炉 OMEGA Jr モデル272-2 M200 光洋リンドバーグ(株)

拡散炉 OMEGA Jr モデル272-2 M200 光洋リンドバーグ(株) /トキワ真空機材(株)

使用チューブ136mm MAX1100℃

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アライナー MA-20 ミカサ(株)

アライナー MA-20 ミカサ(株) /トキワ真空機材(株)

4”仕様

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スパッタ装置 SPK-502 トッキ(株)

スパッタ装置 SPK-502 トッキ(株) /トキワ真空機材(株)

Φ6” マグネトロンカソード RF、DC、スパッタ

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簡易型スピンコーターSC2005

簡易型スピンコーターSC2005 /株式会社アイデン

スピンコータは化合物の溶液から薄膜を生成するための装置です。真空蒸着装置では成分が分解してしまうため、薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの薄膜生成に適しています。

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サファイア ウエハー

サファイア ウエハー /テクノ・ケミックス有限会社

各種サファイア ウエハー基板です。

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GaN hetero epitaxial wafer for LED

GaN hetero epitaxial wafer for LED /テクノ・ケミックス有限会社

GaN hetero epitaxial wafer on sapphire for LED

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Kimball社製 電子銃

Kimball社製 電子銃 /?サイエンスラボラトリーズ

世界中で使用されているKimball Physics社製電子銃/イオン銃は低エネルギーから高エネルギーまで幅広いエネルギー帯域の製品が充実しており、様々な用途に使用が可能です。 また、ビーム径、動作距離なども調整可能で様々な装置に対応出来るように設計されております。
更にオプションにより偏向機能・ラスタ走査機能・パルス化機能・LabVIEWによるリモートコントロールなど使用者に応じた機能を追加可能です。

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簡易型AFMシステム

簡易型AFMシステム /?サイエンスラボラトリーズ

ドイツAnfatec社より、低価格な簡易型AFMシステムの販売が開始されました。学生の教育用やAFM初心者には最適な製品です。
標準セットにはCCDカメラ、130種類のカンチレバー、15種類のサンプルなども含まれています。測定モードはコンタクトモード、ダイナミックモード、LFM(水平力顕微鏡)が搭載されています。オートアプローチ機能も標準装備です。 また、オプションにより上記以外の測定モードの追加も可能です。

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マグネトロンスパッタソース

マグネトロンスパッタソース /株式会社ケーサイエンス

当社のマグネトロンスパッタソースは、マグネトロン放電を利用することで、スパッタ速度の高速化をしています。また、DC・RF電源が使用できます。DC電源では、高融点金属・磁性体などの原料がスパッタリングできます。13.56MHzのRF電源を使用することにより高融点金属・磁性体のほか、半導体・石英・ガラス・アルミナなどの絶縁物がスパッタリングできます。

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