半導体A(シリコン)

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P.N判定器

P.N判定器 /株式会社 共和理研

熱励起を利用した、シリコンウェハー用P.N判定器です。

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ウェハーライフタイム測定装置

ウェハーライフタイム測定装置 /株式会社 共和理研

共振回路を用いた新しいタイプのライフタイム測定器です。シリコンウェハーのライフタイム測定を非接触で容易に行うことが可能です。ご使用目的に応じたオシロスコープを選定することにより有効にその実力を発揮します。

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四探針抵抗率測定器

四探針抵抗率測定器 /株式会社 共和理研

直流四探針法に基づいて開発された測定装置です。測定架台及び、四探針プローブを取り揃えております。

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膜厚測定用ドリラー

膜厚測定用ドリラー /株式会社 共和理研

スチールボールを研磨用治具に用い、スヘリカルドリル法に基づくSiのエピタクシャル層、又は拡散層の膜厚を高精度、且つ簡便に測定可能にした装置です。

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スクライバー

スクライバー /株式会社 共和理研

単軸手動式ダイヤモンドポイントスクライバーです。多彩な調整機構により微細加工のお手伝いをいたします。

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マイクロプローバー

マイクロプローバー /株式会社 共和理研

微細な半導体ウェハー・プリント基盤や各種材料の電気的特性を測定するためのプロービングを目的とする装置です。精細域へのアプローチに優れ、各種ポジショニング用マニピュレーター・プローブ・顕微鏡・シールドケース等の組み合わせによりお客様のニーズにお応え致します。

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マスクアライナー

マスクアライナー /株式会社 共和理研

研究開発を目的としたネガマスク露光の際、サンプルとのアライメントを正確かつ容易に行え、超高圧水銀灯を用いた小型軽量な紫外線照射装置との組み合わせで効率よく露光することが可能なマニュアルUV露光装置です。

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スピンコーター

スピンコーター /株式会社 共和理研

シリコンウェハー及びガラス基盤上にフォトレジスト等の薬液を効率よく、且つ均一に回転塗布することを目的とした高性能小型フォトレジストスピンナーです。

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卓上型ランプ加熱装置 MILA-5000シリーズ

卓上型ランプ加熱装置 MILA-5000シリーズ /アルバック理工株式会社

アルバック理工のMILA-5000は、赤外線ゴールドイメージ炉の急速加熱冷却性、温度の精密制御、クリーンな加熱、真空中をはじめ、自在な雰囲気選択など優れた特性をもつ、ランプアニール装置です。温度制御器とともにコンパクトに一体化し、低価格、小型、高性能をコンセプトとして誕生しました。
これまでの広範な分野はもとより、21世紀のメモリーと期待される強誘電体関係のRTP用研究開発機器としてもご利用下さい。

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XeF2エッチング装置『VPE-4F』

XeF2エッチング装置『VPE-4F』 /サムコ(株)

『VPE-4F』は、MEMSプロセスにおける自立デバイス形成時の犠牲層(Si)エッチングを主目的とするXeF2エッチング装置です。完全ドライプロセスであるため、ウエットプロセスで問題となるスティッキング(張り付き)による自立デバイスの破壊を抑制できます。
また、ウエットプロセスにおける前処理や後処理の必要もありません。ガスを断続的に流し、エッチングすることによりエッチングのスピード及びガスの使用量の制御が容易です。研究開発用途向けであるため、非常にコンパクトな設計になっています。

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