大阪大学の研究成果である新しい大面積・高密度プラズマ発生技術を紹介します。展示では独自開発の低インダクタンスアンテナを用いたプラズマ生成のデモとその技術紹介を行います。また、これまで開発販売してきた大面積プラズマ源および研究装置のパネル展示を行いますの是非当社のブースへお立ち寄り下さい。