●小型複合PVD(スパッタ/PLD)成膜装置●パルスファイバーレーザ微細加工装置(30μm幅)●広帯域(酸素10Torr~超高真空)対応高温基板加熱システム●ドロップレットフリー(捕捉)回転フィルター装置