出展企業のご紹介

ウシオ電機㈱

展示出展物

●ArFエキシマランプ：世界で唯一、193nmの単色光を発光するランプです。テーブルトップ型のコンパクトさで、マスクや光化学部品、フォトレジストの評価などに最適です。●172nmエキシマランプ：マスクブランクスおよびフォトマスクの洗浄・改質に多くの実績を有する172nmVUVエキシマランプです。